流量开关——气体质量流量控制器的技术参数

 

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

1 流量规格（N2）: 25slpm ～ 120slpm

（本公司可以为客户在25slpm ～ 120slpm范围内任何区域标定）

2 准确度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重复精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 响应时间 :≤3sec ( 特别要求：:≤1sec )

5 耐压 :最高 95 bar

6 工作环境温度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 输入输出信号: 0 ~ 5Vdc   4 ~ 20mA

8 电源 :±15Vdc, 350mA

精密气体流量控制器

气路接头形式

可提供5 种尺寸接管外径的接头类型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO一体化流量控制器