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气体流量控制器的产品规格介绍
发布时间:  2019/4/24 15:35:06

流量开关——气体流量控制器的产品规格介绍

(1) 标准规格
  精度: ±0.5%FS(0%≦Q≦50%FS)
±1.0%FS(50%
  重复性: ±0.25%FS(0%≦Q≦50%FS)
±0.5%FS(50%
(2) 高精度规格(可选)
  精度: ±0.2%FS(0%≦Q<20%FS)
±1.0%SP(20%≦Q≦100%FS)
  重复性: ±0.1%FS(0%≦Q<20%FS)
±0.5%SP(20%≦Q≦100%FS)

热式气体流量控制器

氢气对应型号,标准全量程流量为500mL/min至200L/min的机种。
精度: ±0.5%FS(0%≦Q≦40%FS)
±1.0%FS(40% ±2.0%FS(80%
  重复性: ±0.25%FS(0%≦Q≦40%FS)
±0.5%FS(40%


 
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