热式气体流量开关的产品介绍

特点： ●可靠性高 ●重复性好 ●测量精度高 ●压损小 ●无活动部件 ●量程比宽 ●响应速度快 ●无须温压补偿 ★ 流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。

★ 测量控制的自动化 DSN系列质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。

★ 精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。

 ★ 适用范围宽有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 sccm，最大流量范围可达0～200 SLM。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2～100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。国产流量开关厂家

 ★ 耐腐蚀性能强   气体质量流量控制器可以用于控制各种气体，包括腐蚀性气体和特殊气体，但是要注意，对于使用腐蚀性气体和特殊气体，需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时，需要向供货厂商特殊声明使用气体，以免因为选型或选择密封材料错误，造成严重损失。通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体，包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好采用金属密封的MFC。由于金属密封的MFC价格较高，通常要求不高的场合，均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明，MFC都采用氟橡胶密封，可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体，例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体，需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶，如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;有机溶剂汽氛(丙酮、甲苯等)——需要采用硅橡胶;三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等——需要采用全氟橡胶。