气体流量开关的工作原理

气体流量开关和流量计工作原理

气体流量开关选用毛细管传热温差量热法原理丈量气体的质量流量(无需温度和压力抵偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入扩大器扩大，扩大后的流量丈量电压与设定电压进行对比，再将差值信号扩大后去操控调节阀，经过闭环操控来操控经过的流量，并使之与设定的流量持平。分流器决定主通道的流量。

控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检查输出电压为5VDC。气体质量流量控制器的检查规模为2~100%满刻度（量程比为50：1），流量分辨率为0.1%满刻度。

注意：气体流量开关的“阀控”线置于“清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。这时，流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是，一旦输出电压超过5VDC，流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示是不准确的，而且还可能出现流量增大、显示减小的现象，但这些不会损坏质量流量控制器。